臺積電是目前最積極導入極紫外光微影設備提供代工量產(chǎn)服務(wù)的晶圓廠(chǎng)，也因臺積電在鰭式場(chǎng)效電晶體（FinFET）技術(shù)工藝精進(jìn)，臺積電在5納米全數導入極紫外光微影設備。

臺積電已宣布3納米延續采用鰭式場(chǎng)效電晶體架構，依此技術(shù)架構，向2納米邁進(jìn)。

臺積電此前在2019年年報中透露，公司已開(kāi)始開(kāi)發(fā)2納米技術(shù)，同時(shí)針對2納米以下的技術(shù)進(jìn)行探索性研究。